羅茨真空泵的原理

文章來源：http://acastleinthesun.com 發(fā)布時間：2022-09-21 瀏覽次數：264

羅茨真空泵的原理：

　羅茨真空泵是雙轉子容積式真空泵。泵腔內有兩個對稱的轉子形狀，轉子形狀有兩個、三個和四個葉片。兩個轉子相互反向旋轉，由軸端齒輪驅動同步旋轉。轉子互不接觸，通常有0.15~1.0mm的間隙，泵腔被間隙密封。

　由于羅茨真空泵的泵腔內沒有摩擦，因此轉子可以高速運轉，一般為1500~3000r/min，無需用油潤滑，可以實現無油清潔的泵送過程。泵的潤滑部件限于軸承、齒輪和動密封。該泵沒有往復運動部件，可以實現良好的動平衡。因此，羅茨泵運行平穩(wěn)，轉速高，體積小，可獲得較大的泵送速度。

由于轉子的連續(xù)旋轉，泵送氣體從吸入口進入泵腔，密封在吸入腔的泵體內，然后通過排氣口排出泵外。由于吸入泵體空間的氣體沒有被壓縮，當轉子的頂部翻轉排氣口的邊緣時，此時泵體空間與排氣側連通。由于排氣側的氣體壓力較高，一些高壓氣體回流到泵體空間，導致泵腔內的壓力突然上升到排氣壓力。這就是所謂的外部壓縮過程。轉子當它繼續(xù)旋轉時，泵送的氣體從泵中排出。轉子泵的泵送過程是通過兩臺轉子泵的連續(xù)運行來實現的。

　　羅茨泵在真空工程領域中應用時，一般與以前的泵(旋葉真空泵、滑閥真空泵、水環(huán)真空泵等)串聯(lián)形成一個單元，在中等真空范圍內用作機械增壓泵。兩級或多級羅茨泵機組可獲得高真空；